Fraunhofer HHI выбірае распыляльную сістэму Veeco

Інстытут аптычных тэлекамунікацый заказвае сістэму распылення іонных прамянёў для стварэння лазерных фасетачных пакрыццяў і мікрааптычных прыбораў.
COATING

HHI будзе выкарыстоўваць тэхналогію Veeco IBS для стварэння лазерных фасетных пакрыццяў.

Veeco Instruments абвясціла, што адправіла сваю сістэму распылення іённага пучка (IBS) і сістэму аптычнага манітора Sirius у Інстытут імя Фраунгофера для Тэлекамунікацыі(HHI).
Інстытут, які базуецца ў Берліне, Германія, заяўляе, што будзе выкарыстоўваць гэтую тэхналогію IBS "для распрацоўкі і вытворчасці лазерных фасетных пакрыццяў і іншых мікрааптычных прылад".
"Распрацоўка складаных мікрааптычных прыбораў патрабуе выключнай тэхналогіі распылення", - пракаментавала Грэта Роперс, кіраўнік групы па вытворчасці і ўпакоўцы Fraunhofer.
"Сістэма Veeco Spector у спалучэнні з Sirius OMS забяспечыць распрацоўку і вытворчасць прылад сусветнага класа з самай высокай прапускной здольнасцю і паўтаральнасцю працэсаў на аўтаматызаванай, усталяванай платформе".

Аптычныя тонкія плёнкі
Па словах кліентаў, платформа Spector стварае высакаякасныя аптычныя тонкія плёнкі з палепшаным узроўнем прадукцыйнасці і прапускной здольнасці. У адрозненне ад выпаральных пакрыццяў, распыленыя іённым пучком тонкія плёнкі адкладаюцца пры высокіх энергіях, што дае выключны кантроль таўшчыні і нізкую шчыльнасць дэфектаў для нанясення лазерных пакрыццяў. Sirius OMS павышае здольнасць платформы Spector, звязваючы кантроль шырокапалоснага кантролю са стабільнасцю нанесеных іённых прамянёў плёнак .
«Fraunhofer HHI ва ўсім свеце з'яўляецца лідэрам у распрацоўцы лазерных фасетных пакрыццяў і мікрааптычных прылад наступнага пакалення, - сказаў д-р Адрыян Дэвасаяям, віцэ-прэзідэнт і генеральны менеджэр кампаніі Veeco's Advanced Deposition and Etch (AD&E). "Сістэма Spector забяспечвае неперасягненую якасць і гнуткасць для дакладнага аптычнага пакрыцця тонкіх плёнак і паскорыць мэты іх развіцця".
Фінансаванне гэтага праекта было прадастаўлена Forschungsfabrik Mikroelektronik, даследчая фабрыка мікраэлектронікі і нанаэлектронікі, якая ставіць пад пагрозу адзінаццаць інстытутаў групы Fraunhofer, а таксама Інавацыі ў галіне высокаэфектыўнай мікраэлектронікі і Інстытут Фердынанда-Брауна, Лейбніц-Інстытут для Хёхстфрэкенцтэхніка. Сістэма была прададзена ў супрацоўніцтве з еўрапейскім партнёрам Veeco,Veonis Technologies.


Час публікацыі: кастрычнік-31-2019